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真空镀膜机的正常工作条件是什么

2023-06-07

真空沉积机主要是指一种需要在高真空下进行的镀膜设备,包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等类型。

真空镀膜机的正常工作条件是什么?

1. 环境温度:10~30℃

2. 相对湿度:不超过70%

3.冷却水入口温度:不高于25℃

4. 冷却水水质:城市自来水或同等水质

5. 电源电压:380V、三相50Hz或220V、单相50Hz(根据所用电器的需要而定),电压波动范围342-399V或198V-231V,频率波动范围49-51Hz;

6. 设备所需的压缩空气、液氮、冷水、热水的压力、温度和消耗量应在产品说明书中注明。