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真空镀膜机扩散泵如何维修和保养

2023-01-13

扩散泵是一种获得高真空的设备,目前仅限于5级泵。抽速高,效率高,可用于繁忙抽提。常见的真空镀膜、抽速高而大型的设备,真空镀膜机的一个重要组成部分是采用扩散泵进行抽真空。大部分都是大型设备,所以成本会相对较高。因此,大多数企业都非常重视真空沉积机扩散泵的维护。下面由真空小编为大家提供扩散泵的保养和方法的详细介绍:

真空沉积机

首先,扩散泵的冷却水在运行过程中必须是稳定的。停止加热后,待泵的工作液完全冷却后,再关闭冷却水。

其次,扩散泵停止工作时,应保持在真空状态,防止泵油变质。

第三,被抽的气体应干燥、无腐蚀性、无尘。

第四:如果扩散泵暂时不使用,应在真空状态下存放,以避免泵油污染和腐蚀各部件,并将冷却水套内残留的水吹净。将室温保持在10到40摄氏度之间。

第五:扩散泵长期运行后性能会逐渐变差,应定期检查。例如,泵油是否已被还原或氧化,按相应要求加油或更换;零件和泵腔应先用氩气清洗,然后用丙酮擦洗,80-100℃干燥或用吹风机吹干。加工后依次组装,保持泵芯与泵底垂直,泵腔同心,并按原要求调整各级喷嘴间隙。

第六:待水蒸发干燥后,安装泵芯,加入新的扩散泵油,并安装回机体,连接水管,安装炉板重新启动。